展会现场

指导单位:
中华人民共和国工业和信息化部      

中华人民共和国商务部     


特邀单位:
中国电子元件行业协会              
中国电子专用设备工业协会
中国电子仪器行业协会              
中国电子质量管理协会
中国电子学会通信学分会            
中国半导体行业协会
香港贸易发展局                    
台湾区电机电子工业同业公会
中国真空电子行业协会              

中国光学学会激光加工专业委员会  


主办单位:

中国电子器材有限公司 



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1.MEMS 加工设备:薄膜成形(汽相淀积、溅射、CVD、覆镀;曝光系统、蚀刻技术;防腐处理;刻蚀;晶圆键合;切割;芯片/导线焊接;封装;微成形 (注射, 热压);其他生产设备等;
2.纳米压印技术:微纳米模型;纳米压印生产设备等;
3.纳米机械微制程技术:超精度纳米机械工艺;超精密加工, 微制造;表面微加工;精细钻孔;微观切割;雷射、离子脉冲加工;聚焦离子束系统;微放电加工;超声波设备等;
4.分析与检测仪器:光罩缺陷检测、封装检测、表面分析仪器、粗糙度仪、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统;显微镜:光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪;检漏仪器、静电负离子空气净化机;气体分析及检测、分析和测量系统等;
5.软件建模:设计工具、仿真软件、CAD & CAE分析软件等;
6.MEMS 代工服务:仿真设计、原型测试、产品开发、量产;其他代工服务:图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀等;
7.材料:压电薄膜材料(ZnO, AIN, PZT)、抗压材料、附着材料、保护材料;碳纳米管、蓝宝石、聚合物、陶瓷;LTCC 基板Glass substrate、SiC;磁性材料、铁电性材料等;
8.生物技术与医疗应用:MEMS 在医疗处理及诊断方面的应用、DDS、纳米胶囊;尖端DNA & RNA 技术、微反应器、微流引导等;
9.MEMS 器件:光学MEMS (反射, 光量开关, 扫描等);射频MEMS (开关,振荡器,过滤);MEMS物理传感器 (加速传感器,速率传感器,压力传感器,气体传感器,温度传感器);微射流(微流引导,微感应器等);MEMS执行器(灯,泵);MEMS电能(燃料电池,微发电机等);生物/化学MEMS(DNA/RNA技术,化学检测等);高复合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一体化)等
10.MEMS 应用: (麦克风,显示等);超微型机械人装置、微型工厂等;传感器网络;能量收集等;

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